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张卫平

张卫平,博士,1971年3月生,上海交通大学微纳科学技术研究院教授,博士生导师。

性别:男

职务职称:教授.

所在院系:微纳科学技术研究院

所属学科:微电子学固体电子学

研究方向:微机电系统的集成、设计、检测和控制,目前研究工作主要集中在微惯性、微机器人、MEMS安保技术、微生物芯片等领域。

张卫平,博士,1971年3月生,上海交通大学微纳科学技术研究院教授,博士生导师。

微米纳米加工技术国家级重点实验室副主任,系统设计、集成与测试研究室主任。

获2008年国家技术发明二等奖,2004年北京市科技进步二等奖,2005年军队科技进步二等奖,2005年上海市科技进步三等奖,2006年机械工业科技进步二等奖,2006年高等学校技术发明一等奖,2006年高等学校专利一等奖,2007年上海市技术发明一等奖,2007年第十届中国专利优秀奖,2008年教育部自然科学二等奖。

多年来一直从事微机电系统、精密仪器及其相关技术的研究,先后主持或参与多项国家和省部级课题,研究内容涉及微惯性技术(悬浮转子微陀螺、固态微陀螺、高G加速度计等)、MEMS安保技术、PCR芯片、微仿生机器人(仿鸟/仿昆扑翼飞行器等)、微减速器、电磁型微马达、旋转式微泵、LiGA及准LiGA技术中的微复制工艺、宝钢螺旋飞剪改造工程、H型钢轧机动态模拟与仿真、同步辐射生物大分子光束线、XSAF光束线关键设备等,其中包括主持的国家863计划“可用于微卫星及微飞行器的磁悬浮转子微陀螺的研究”、“一种新的用于信息安全的MEMS强链”、“用于信息安全的MEMS强链的应用研究”、“基于MEMS强链的硬盘物理认证和物理加密技术”,主持的自然科学基金项目“毫米尺度惯性级可控“势能阱”永磁转子自稳悬浮新概念MEMS 微陀螺的研究”、“基于MEMS的磁阿基米德反磁势阱钳生物微操纵与芯片”,主持的“微气泡驱动的集成PCR反应器的研究”、“基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺的基础研究”、“非硅多梁圆盘型高过载自检型微加速度计研究”、“基于MEMS的振翅飞行机械昆虫的研究”、“基于MEMS的微惯性器件基础研究”等省部级或学校支持的研究项目,参与的“微机械悬浮转子陀螺技术”、“非硅精密机械制造技术”、“先进惯性传感器研究”、“基于MEMS技术的仿生微型飞行机器人的研究”等国家和省部级项目。

2007年入选上海市人事局“上海人才发展资金”资助计划,2008年获上海交通大学SMC优秀青年教师奖,2010年入选教育部新世纪优秀人才支持计划。主要研究兴趣包括:微惯性(微陀螺、微加速度计等)、微流控生化芯片、微仿生机器人、微安全保证等微纳光机电技术及其相关的设计、电路控制检测、微纳加工和系统集成和应用。在国内外学术期刊或会议上发表论文100余篇,申请专利100余项,授权专利80余项。

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